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          NAURA-TOPCon設備解決方案助力光伏產業提效降本
          發布時間:2022-01-12
            第十七屆中國太陽級硅及光伏發電研討會(17th CSPV)在蘇州順利召開。在NAURA-TOPCon 電池技術與應用分論壇上,北方華創王曉飛博士發表了題為《TOPCon量產技術路徑思考及核心干法工藝裝備之實踐》的主題演講。



            王曉飛博士認為從現有電池技術發展趨勢來看,N型高效電池市場份額未來將顯著增加,TOPCon和HJT技術競爭優勢將不斷增強。電池技術迭代,亦離不開核心關鍵工藝裝備技術提升,NAURA立足自主研發,多年來持續為TOPCon電池提效降本提供專業的設備解決方案。

            TOPCon電池結構有多條工藝路線實現,從效率和量產應用兩方面綜合評估,LPCVD路線依然是產業化應用的成熟之選。

            北方華創自2016年起,在業內率先布局LPCVD和硼擴核心干法工藝裝備。五年來,北方華創敏銳捕捉行業發展趨勢,積極借鑒產業化應用成功經驗,實現了超長溫區大管徑溫度場精準控制、大體積反應腔室穩定精準壓力控制等技術突破,提升了超長溫區膜層均勻性,并大幅降低設備運營維護成本。目前,北方華創LPCVD和硼擴設備持續在多個客戶端實現量產應用,并斬獲大批重復訂單。



            當下正值TOPCon擴產風口,北方華創針對LPCVD和硼擴裝備產能不足、運營成本高昂的問題,順勢推出第三代設備解決方案。該方案面向210硅片的機型單管載片量分別達到2600片/管和2400片/管,單機產能分別提升86%和72%,單機年運營綜合成本分別降低60%和30%,提升產能的同時均勻性指標提升1%,鈍化性能等工藝指標亦有提升。

            近年來,N型電池市場份額持續攀升,TOPCon和HJT制備設備方案持續迭代。北方華創緊跟市場,針對TOPCon的關鍵結構,隧穿氧化層的制備,除了成熟的LPCVD路線之外,還布局了三合一PECVD和PEALD,形成了覆蓋多條技術路徑的全面解決方案。

            未來,北方華創將依托二十余年的半導體技術積累,持續精進光伏設備解決方案,始終以“推動產業進步,創造無限可能”為使命,在雙碳政策戰略背景下,為推動中國光伏產業持續健康發展創造無限可能!

            注:CSPV是我國硅材料及光伏發電領域重要的學術會議,CSPV以助力國內光伏企業提高核心競爭力,推動中國太陽能產業持續健康發展為宗旨,每年召集政府代表、產業領袖、業內精英,以全球市場發展趨勢為導向,圍繞晶硅材料制備技術等六大主題開展研討,自2005年舉辦延續至今已成功召開了十七屆,已在國際上具有一定聲譽和影響力。


            本屆CSPV設2場主題論壇、17個專題會分會場,共發表技術報告259篇,線上觀看累計達到6萬多次。晶澳科技、隆基綠能、華為技術、德國TüV萊茵等數十家業內知名企業代表參會。北方華創就TOPCon電池前沿技術及產業化應用進行分享。

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