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          聚焦第三代半導體,北方華創是值得您信賴的SiC產品解決方案服務商
          發布時間:2022-09-09

            心合意同,謀無不成。近日,北方華創受邀參加“第四屆第三代半導體材料及裝備發展研討會”,CVD事業單元化合物工藝技術經理劉廣政博士出席會議,并做了以《碳化硅外延設備技術》為主題的分享報告。

          (右三為劉廣政博士)

            在新能源汽車、5G通訊、光伏儲能等終端應用的發展推動下,以碳化硅(SiC)、氮化鎵(GaN)等為代表的第三代半導體材料的熱度節節攀升。北方華創在SiC裝備領域布局廣泛,各類裝備均在國內主流生產線實現規模應用,可為客戶提供全面的SiC產品解決方案。其中,SiC長晶爐累計訂單數量超2000臺,SiC外延爐累計訂單數超100臺。

            在外延裝備方面,北方華創具有10余年外延設備研發的技術積累,在溫場、氣流場以及平臺控制等設計方面優勢顯著,可針對多種半導體外延裝備進行定制開發,涵蓋硅與化合物半導體領域。


            其中MARS iCE115碳化硅外延設備采用水平熱壁式技術路線,以及先進的控溫控壓算法、進氣結構以及混流結構,使得整個外延工藝過程中熱場和氣流場均勻穩定,工藝指標如厚度均勻性、摻雜濃度均勻性、缺陷密度等均達到了行業先進水平。另外,機臺設計遵循IC理念,提供了完備的安全保護機制,同時為客戶提供更方便的人機交互界面以及多樣的數據實時采集與監控功能。

            目前,北方華創的4/6吋SiC外延設備已簽訂單超百臺,批量機臺已在各大主流外延廠實現穩定量產。

            作為先進的“半導體基礎產品領域解決方案服務商”,北方華創將持續深耕半導體基礎產品領域,堅持技術引領,強化創新驅動,勇攀新高峰。
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